东方财富·全球财经快讯·2026-10-20 11:36· 2 天前

超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产

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超纯应材10月20日在互动平台表示，公司5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产。

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